Перейти из форума на сайт.


Система IP-видеонаблюдения "Линия". Скачать бесплатную демо-версию для 16 камер. НовостиФайловые архивы
ПоискАктивные темыТоп лист
ПравилаКто в on-line?
Вход Забыли пароль? Первый раз на этом сайте? Регистрация
Компьютерный форум Ru.Board » Компьютеры » Программы » Закладки » Программы для разработки, тестирования оптических систем

Модерирует : gyra, Maz

Widok (23-11-2010 11:19): Лимит страниц. продолжаем здесь  Версия для печати • ПодписатьсяДобавить в закладки
Страницы: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112

Открыть новую тему    

DSER



Advanced Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
Что есть нового в мире оптики?
рекламируем себя,
обсуждаем проблемы...предлагаем решения...
 
оптика обсуждается и на этих страничках:
http://physics.nad.ru/cgi-bin/forum.pl?forum=opt
http://groups.google.com/group/sci.optics/
 
Вопросы по варезу тут:
http://forum.ru-board.com/topic.cgi?forum=35&bm=1&topic=4999
 
Список имеющихся книг по оптической тематике http://optdesign.narod.ru/optic_book_.htm  обновлено 29.08.2010
Большинство из них можно найти на сайтах gigapedia.org, optdesign.narod.ru, poiskknig.ru,
optical-help.info, gen.lib.rus.ec
На книголюбе Подробнее... лежат все из списка. Постепенно список обновляется....  
 
ослиные ссылки на книги

Всего записей: 742 | Зарегистр. 07-06-2004 | Отправлено: 09:33 21-01-2005 | Исправлено: Maz, 13:38 02-03-2017
ging



Full Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
Но там ты, в принципе, не увидишь дифракционных эффектов (хотя прикинуть дифракционные потери света можно). Для этого нужен CodeV или Zemax.

 
Nu, realjno, sistemy na 30 nm obychno daleki ot "diffraction limited"... Tak chto, ya dumayu,
eto i ne nugno. Khotya kto ego znaet... Zavisit ot slognosti (chitaj: vbukhannykh deneg) sistemy.
 
Zalil v yaschik:
Malacara D. Optical shop testing, 2 ed (english) DJVU 12.5 MB.

Всего записей: 563 | Зарегистр. 18-09-2003 | Отправлено: 13:11 30-01-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
Nu, realjno, sistemy na 30 nm obychno daleki ot "diffraction limited"  

 
Смотря какие системы.
Например EUV lithography, там очень много проблем.
И волновые эффекты играют большую роль.
 
 
Добавлено:
А TracePro и LightTools это системы геометрической трассировки луча.

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 14:40 30-01-2006
ging



Full Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
Например EUV lithography, там очень много проблем

 
Imenno pro nikh ya i govoryu. Naprimer na 13 nm poluchitj pyatno menjshe 50 nm ne
udaetsya . Tam imenno ochenj mnogo problem, kotorye meshayut poluchitj
normaljnoe izobragenie. Samaya prostaya otsenka: skoljko nugno opticheskikh
poverkhnostej, chtoby poluchitj khoroshee izobragenie v vidimom? Ot 4-kh ???
A teoreticheskij predel dlya interferentsionnogo zerkala na etikh dlinakh voln - 70%.
Vot i poschitajte, skoljko izlucheniya (skazatj "sveta" ne povorachivaetsya yazyk)  
dojdet do ploskosti izobrageniya... A rasseyanie? Sherokhovatostj podlogki dlya zerkala
dolgna izmeryatjsya Angstremami, t.e. edinichnymi atomami!!!
 
Poetomu ya i skazal v svoem poste: vse zavisit ot togo, skoljko deneg vbukhano v sistemu.
 
 
Цитата:
А TracePro и LightTools это системы геометрической трассировки луча.

Tak ge kak i ZEMAX i Code V... I vse ikh pretenzii na otsenku difraktsionnykh effektov -
ne bolee chem approximatsiya (difraktsiya Fraunhofer'a = skalyarnoe pribligenie).





за нарушение пункта 1.5.1 Правил

Всего записей: 563 | Зарегистр. 18-09-2003 | Отправлено: 15:03 30-01-2006 | Исправлено: Widok, 12:04 06-02-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
Полностью с вами согласен.

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 15:36 30-01-2006
alexgeorg



Junior Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
Хорошие системы для EUV литографии состоят из 6 - 8 асферических зеркал (асферики до 10 порядка). Точность изготовления - нанометры. При этом удаётся добиться дифракционного качества. Если есть большой интерес могу пару таких дизайнов подкинуть. Стоимость такой системы - миллионы долларов .

Всего записей: 147 | Зарегистр. 06-03-2003 | Отправлено: 21:52 31-01-2006 | Исправлено: alexgeorg, 21:54 31-01-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
Если есть большой интерес могу пару таких дизайнов подкинуть.

подкиньте, плиз.
 
А есть ли где реально работающие такие системы.  
Насколько я знаю (ибо сам этим, в принципе, занимаюсь)
на  сегодняшний день в основном работают линзовые схемы на
193-нм и 248-нм.

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 23:10 31-01-2006 | Исправлено: paparazzo, 23:26 31-01-2006
alexgeorg



Junior Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
Ну вот для начала пара ссылок:
 
http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/singh.html
http://homepages.ipact.nl/~alexgeorg/Evolution_DUV.htm
 
Да, сегодня в наличии есть литографические объективы для 248 нм, 193 нм, 193 нм с иммерсией, 157 нм (система создана, но программа свернута). EUV оптика пока реализована в качестве макета, т.е. сама система работает, но имеет большие ограничения. Ожидается на рынке к 2008-2010 году.
 
В статьях есть ссылки на патенты. Конечно система из патента напрямую суперкачества не даст, но вытянуть можно.

Всего записей: 147 | Зарегистр. 06-03-2003 | Отправлено: 00:32 01-02-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
Naprimer na 13 nm poluchitj pyatno menjshe 50 nm ne udaetsya


Цитата:
При этом удаётся добиться дифракционного качества.

 
А какого именно качества удается пока добиться?
 

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 02:09 01-02-2006
ging



Full Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
alexgeorg

Цитата:
h_p://homepages.ipact.nl/~alexgeorg/Evolution_DUV.htm  

 
Kakoj u Vas adres interesnyj. A Vy sluchajno ne v ASML rabotaete?
Ug boljno znakomye ob'ektivy v vashej statje... CZ-SMT?

Всего записей: 563 | Зарегистр. 18-09-2003 | Отправлено: 11:53 01-02-2006
ging



Full Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
paparazzo
 
U vas na sajte estj ssylki na knigi:
22)   P. Mouroulis, J. McDonald  Geometrical Optics and Optical Design (1997) скачать
30)   An Illustrated Dictionary of Optoelectronics and Photonics: Important Terms and Effects (2002) скачать
33)   R.Shannon The Art and Science of Optical Design (1997) скачать
 
Chto-to mne eto ne popadalosj. Moget zaljete v yachik na gmail (a to u menya s naroda ne
kachaetsya)? Ili ssylku dadite, otkuda ono.




за нарушение пункта 1.5.1 Правил

Всего записей: 563 | Зарегистр. 18-09-2003 | Отправлено: 21:46 01-02-2006 | Исправлено: Widok, 12:03 06-02-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
22) P. Mouroulis, J. McDonald Geometrical Optics and Optical Design (1997)  
30) An Illustrated Dictionary of Optoelectronics and Photonics: Important Terms and Effects (2002)  
33) R.Shannon The Art and Science of Optical Design (1997) скачать
 
 
Залил на книголюб
 
Добавлено:
Привет ASML от отечественных производителей фотолитографического оборудования!!!

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 23:25 01-02-2006
alexgeorg



Junior Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
ging
 

Цитата:
A Vy sluchajno ne v ASML rabotaete?  

Горячо
 

Цитата:
CZ-SMT?

Холодно
 
US Patent 5,805,344 (1998) - Nikon Corporation (JP)  
US Patent 4,953,960 (1990) - Williamson (that time SVGL?)
US Patent 6,757,051 Emb. 1 (2002) - Nikon Corporation (Tokyo, JP)
US Patent 6,757,051 Emb. 5 (2002) - Nikon Corporation (Tokyo, JP)
US Patent 5,815,310 (1998) - Williamson for SVG Lithography Systems, Inc. (Wilton, CT)
 
По чертежу трудно происхождение определить.
 
paparazzo
 

Цитата:
А какого именно качества удается пока добиться?

Strehl Ratio > 0.99; RMS wave < 0.002
Расчетное качество идеальное, но сделать, точнее даже померить трудно + покрытия крайне нестойкие.
 
Ответный привет труженикам .

Всего записей: 147 | Зарегистр. 06-03-2003 | Отправлено: 01:53 02-02-2006
andrey98



Junior Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
Да, мне не понятно почему у нас в стране решили делать линзовый объектив для литографа, да еще поручили ГОИ это делать...
Ясно же, что все равно нужно будет на зеркальные системы переходить. Опять деньги налогоплатильщиков поветру.

Всего записей: 127 | Зарегистр. 09-06-2004 | Отправлено: 15:19 04-02-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
да еще поручили ГОИ это делать

 
не только ГОИ делает такие объективы (например Бинары)
 

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 23:54 04-02-2006 | Исправлено: paparazzo, 23:56 04-02-2006
alexgeorg



Junior Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
Ну литография - понятие очень ёмкое, и может не только для печати чипов применяться. Так что хорошо даже то, что кто-то будет в этом что-то понимать. И потом сразу, с нуля, EUV объектив не сделаешь. Японцев хорошо бы с уже освоенных рынков потеснить. Ведь 193 нм машины нужны пока только лидерам (IBM, Intel, AMD, Toshiba) для процессоров или FLASH, да и то только для критичных слоёв. А микросхемы для калькуляторов можно и на старых машинах печатать.
А если не секрет, кто в ГОИ этим занимается, может кто-то из старых знакомых ?

Всего записей: 147 | Зарегистр. 06-03-2003 | Отправлено: 01:23 05-02-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
Я к ГОИ отношения не имею, но видел рабочие чертежи их объектива, "разработал" стоит фамилия Ган. Это было около полугода назад.
 
 
Добавлено:

Цитата:
 микросхемы для калькуляторов можно и на старых машинах печатать

 
так оно и есть.

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 03:03 05-02-2006
DSER



Advanced Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
paparazzo

Цитата:
Я к ГОИ отношения не имею, но видел рабочие чертежи их объектива,

А сколько линз там было?
 
andrey98

Цитата:
Опять деньги налогоплатильщиков поветру

Да, тут сложно не согласиться, но дальше экспериментального образца им не двинуться...  ИМХО
 
К вопросу о зеркальных системах.
По имеющейся у меня информации ФИЗТЕХ уже около 5 лет пытается сделать зеркальный объектв для УФ области на внеосевых асферических элементах. Но я сомневаюсь, что асферики с требуемым качеством кто-нибудь в России сможет сделать.... Но "деньги налогоплательщиков" будут потрачены.
 
Р. Сейсян
Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумном ультрафиолете (Обзор)
_http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2005/05/p1-13.pdf
Размер: 727 KБ  
 
 
 

Всего записей: 742 | Зарегистр. 07-06-2004 | Отправлено: 09:31 06-02-2006 | Исправлено: DSER, 09:46 06-02-2006
andrey98



Junior Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
По имеющейся у меня информации ФИЗТЕХ уже около 5 лет пытается сделать зеркальный объектв для УФ области на внеосевых асферических элементах

Качество поверхности очень трудно сделать. Лучше бы вложили денежки в развитие технологий оптических. А то все работают на станках 20-ти летней давности и контроль никакой.
 
Кстати, возвращаясь к нашим делам, что там за Земакс лежит на книголюбе?

Всего записей: 127 | Зарегистр. 09-06-2004 | Отправлено: 10:05 06-02-2006
paparazzo



Silver Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору

Цитата:
что там за Земакс лежит на книголюбе

 
Рабочий Zemax за апрель.
Из нововведений заметил только экспорт 3D DXF.
 

Цитата:
 А сколько линз там было?  

 
Линз там было 29. Хотя, по-моему можно было и согнать до 27.

Всего записей: 2040 | Зарегистр. 06-04-2003 | Отправлено: 10:22 06-02-2006
DSER



Advanced Member
Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору
andrey98

Цитата:
Качество поверхности очень трудно сделать. Лучше бы вложили денежки в развитие технологий оптических. А то все работают на станках 20-ти летней давности и контроль никакой.  

 
   
 
Пока подобного оборудования нам никто не оплатит, а отстали в технологии уже лет на 20... догонять не имеея импортного аналога и финансирования бесполезно.
 

Всего записей: 742 | Зарегистр. 07-06-2004 | Отправлено: 11:12 06-02-2006 | Исправлено: DSER, 11:14 06-02-2006
Открыть новую тему    

Страницы: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112

Компьютерный форум Ru.Board » Компьютеры » Программы » Закладки » Программы для разработки, тестирования оптических систем
Widok (23-11-2010 11:19): Лимит страниц. продолжаем здесь


Реклама на форуме Ru.Board.

Powered by Ikonboard "v2.1.7b" © 2000 Ikonboard.com
Modified by Ru.Board
© Ru.Board 2000-2017

BitCoin: 1NGG1chHtUvrtEqjeerQCKDMUi6S6CG4iC

Рейтинг.ru