alexgeorg
Junior Member | Редактировать | Профиль | Сообщение | Цитировать | Сообщить модератору ging Цитата: A Vy sluchajno ne v ASML rabotaete? | Горячо Цитата: Холодно US Patent 5,805,344 (1998) - Nikon Corporation (JP) US Patent 4,953,960 (1990) - Williamson (that time SVGL?) US Patent 6,757,051 Emb. 1 (2002) - Nikon Corporation (Tokyo, JP) US Patent 6,757,051 Emb. 5 (2002) - Nikon Corporation (Tokyo, JP) US Patent 5,815,310 (1998) - Williamson for SVG Lithography Systems, Inc. (Wilton, CT) По чертежу трудно происхождение определить. paparazzo Цитата: А какого именно качества удается пока добиться? | Strehl Ratio > 0.99; RMS wave < 0.002 Расчетное качество идеальное, но сделать, точнее даже померить трудно + покрытия крайне нестойкие. Ответный привет труженикам . |